槽車（液氬、液氮、液氧）
| 純氬、高純氬（GB/T4842-2006）、超純氬（GB/T16945-2009） | |||
| 項目名稱 | 指標 | ||
| 超純氬 | 高純氬 | 純氬 | |
| 氬氣（Ar)的體積分數(shù)/10-2 ≥ | 99.9999 | 99.999 | 99.99 |
| 氫氣（H2)的體積分數(shù)/10-6 ≤ | 0.1 | 0.5 | 5 |
| 氧（O2）的體積分數(shù)/10-6 ≤ | 0.2 | 1.5 | 10 |
| 氮（N2)的體積分數(shù)/10-6 ≤ | 0.5 | 4 | 50 |
| 甲烷（CH4)的體積分數(shù)/10-6 ≤ | — | — | 5 |
| 一氧化碳（CO)的體積分數(shù)/10-6 ≤ | 0.1 | — | 5 |
| 二氧化碳（CO2)的體積分數(shù)/10-6 ≤ | 0.1 | — | 10 |
| 總烴（以甲烷計）含量/10-6 ≤ | 0.1 | 1 | — |
| 水分/10-6 ≤ | 0.2 | 3 | 15 |
| 注：表中純度和含量均以體積分數(shù)表示（V/V)。 | |||
